多孔陶瓷

 

多孔陶瓷（氧化鋁多孔陶瓷，碳化矽多孔陶瓷）

 

　多孔陶瓷的用途

常作為晶圓，薄膜的吸附用治具。也可做為過濾用治具使用。

　多孔陶瓷的特性
多孔陶瓷具有良好的絕緣和耐熱性。
並且可以加工到很高的精度，平面平行度可加工到5μm，滿足有高精度要求的領域使用。 

　其他領域推薦用途
可應用於溫度變化劇烈的環境，由於對玻璃的可剝離性良好，也可在光學鏡片的製造行業中使用。
 
 

多孔陶瓷的特徵

 
多孔陶瓷吸附治具（白色部分為多孔陶瓷）
  • 材質質：高純度氧化鋁(純度99.6％)、碳化矽（SiC）
  • 低熱傳導係數
  •  
  • 低介電係數
  • 螺紋加工（鑽孔、淺槽、螺絲鑲套）等複雜形狀也可加工。
  • 氣孔率也可調整